མཛེས་བཟོའི་འོད་འཕྲོའི་དབྱེ་རིམ།

མཛེས་སྡུག་ཅན་གྱི་ལག་ཆས་ཚུ་ཡང་ གཙོ་བོ་ར་ ལེ་ཟར་གྱི་མཛེས་ཆ་དང་ E{0}} མཛེས་ཆའི་ལག་ཆས་ དེ་ལས་ OPT ཚུ་ཨིན། ལེ་ཟར་གྱི་མཛེས་ཆའི་ལག་ཆས་དབྱེ་བ་ལེ་ཤ་ཡོདཔ་ལས་ གཙོ་བོ་རང་ ལག་ཆས་གཙོ་བོ་ཚུ་ ལཱ་འབདཝ་ཨིན་ཟེར་ཨིན་པས། ལག་ཆས་སོ་སོ་ཚུ་གི་ ཁྱད་འཕགས་ཅན་གྱི་ལས་འགན་ཚུ་ སོ་སོ་སྦེ་ཡོདཔ་མ་ཚད་ ལག་ལེན་འཐབ་བཏུབ་པའི་སྡེ་ཚན་ཚུ་ཡང་ སོ་སོ་སྦེ་ཡོདཔ་ཨིན།
༡ ལེ་ཟར་འདི་ དབྱེ་བ་ཕྱེ་ཚུགས།
① Solid state laser;
༡་་་་རླངས་རླུང་;
༡༽ ལི་ཁུ་འོད་འཕྲོ་;
༡ ༡ ཕྱེད་ཀ་གློག་འོད་ལ་སོགས་པ།
2. ལེ་ཟར་གྱི་མཛེས་པའི་གཞི་རྩའི་དབྱེ་བ།
མཛེས་བཟོའི་འོད་འཕྲོ་ཐོན་མི་འདི་གིས་ གྱིབ་ཤོག་གཤག་བཅོས་དང་ མཛེས་སྡུག་ཚུ་གི་དོན་ལས་ འཕྲུལ་རིག་གི་སྨན་བཅོས་ཐབས་ལམ་གསརཔ་ཚུ་བྱིན་ཡོདཔ་མ་ཚད་ ཧེ་མའི་སྨན་བཅོས་ཐབས་ལམ་ཚུ་གིས་ དཀའ་ངལ་ལེ་ཤ་ཅིག་ར་ བསལ་མ་ཚུགསཔ་ཨིན་མས། ཨིན་རུང་ འདས་པའི་ལོ་ཚུ་ནང་ འཕྲུལ་རིག་དང་ གོང་ཚད་མཐོ་དྲགས་སྦེ་ཡོད་མི་ལུ་བརྟེན་ འདས་པའི་ལོ་ཚུ་ནང་ རྒྱ་ནག་ལུ་ གསོ་བའི་བཟོ་གྲྭ་ནང་ མཛེས་རྒྱན་གྱི་ ལེ་ཟར་གྱི་ ཅ་ཆས་མང་ཤོས་ཅིག་ར་ འཛུལ་ཡོདཔ་ཨིན་པས།
ལེ་ཟར་གྱིས་ རྩ་ཕྲན་ཚུ་དང་ འབྲེལ་བ་འཐབ་ཐོག་ལས་ ལཱ་འགན་འདི་ གྲུབ་ཚུགསཔ་ཨིན། ལས་སྡེ་གིས་ གློག་འོད་ཚུ་ བསྒྱུར་བཅོས་འབད་མི་ ནུས་ཤུགས་དང་འཁྲིལ་ཏེ་ གློག་འོད་ཚུ་ དབྱེ་བ་ཕྱེ་སྟེ་ཡོདཔ་ཨིན།
རྩ་ཕྲན་ཚུ་གིས་ འོད་ཀྱི་ནུས་ཤུགས་འདི་ ཚ་དྲོད་ཀྱི་ནུས་ཤུགས་ལུ་ བསྒྱུར་བཅོས་འབདཝ་ཨིནམ་དང་ རྩ་ཕྲན་སོ་སོ་ཚུ་ལུ་ འཐེན་ཤུགས་ཀྱི་འཇོན་ཐངས་སོ་སོ་ཡོདཔ་ཨིན། དེ་འབདཝ་ལས་ དམིགས་བསལ་གྱི་རླབས་ཀྱི་ཐག་ཚད་ཚུ་ དམིགས་བསལ་གྱི་རྩ་ཕྲན་ཚུ་གིས་ འཐེན་ཚུགས་ནི་ཨིནམ་དང་ འདི་ཡང་ ལེ་ཟར་གྱི་གདམ་ཁ་མཐོ་དྲགས་དང་ ཁྲག་ཤུགས་མར་ཕབ་དང་ ཁྲག་འབབ་ དེ་ལས་ གདོང་ཁར་གྱི་ རྨ་འདི་བཏོན་བཏང་ནི་ཚུ་ཨིན་མས།
གློག་འོད་ཀྱི་ནུས་པ་: པཱུལ་སི་ལེ་ཟར་གྱིས་ བྱེམ་གྱི་རྦ་རླབས་ཚུ་ བཏོན་ཚུགས་ནི་ཨིནམ་ད་ འདི་གིས་ ཚོས་གཞིའི་རྡུལ་ཕྲན་ཚུ་ལུ་ གློག་འོད་ཀྱི་གནོད་སྐྱོན་བཟུམ་གྱི་ རྩ་ཕྲན་ཚུ་ འཕྱག་བཏང་ཚུགས།
རྫས་སྦྱོར་གྱི་ནུས་ཤུགས་ལུ་ རྩ་ཕྲན་གྱིས་ རྡུལ་ཕྲན་ཚུ་ བསྒྱུར་བཅོས་འབད་དེ་ རྫས་ཁམས་རིག་པའི་ བརྡལ་བཤིག་བཏོནམ་ཨིན། དཔེར་ན་ ArF exmer laser གིས་ མིག་ཤེལ་གྱི་འགྱུར་བ་འདི་ བཅོ་ཁ་རྐྱབ་ཚུགས།
④ ཕོ་ཊོ་ཌའི་ནམ་གྱི་ནུས་པ།: གཙོ་བོ་ རྨེན་བུ་བཅོས་ཐབས་ལུ་ ལག་ལེན་འཐབ་ཨིན།
3. ལེ་ཟར་མཛེས་མ་འདི་ བགོ་ཐུབ།
༡ ལེ་ཟར་གྱིས་ གདོང་ཁར་གྱི་པགས་ཀོ་ལས་ ཚོས་གཞི་མ་འདྲཝ་ཚུ་ བཏོན་གཏངམ་ཨིན།
༡ ལེ་ཟར་ པགས་ཀོ་གི་སྐྱོན་ དཔེར་ན་ མལ་དང་ཝཊ་ ཕྲུ་གུ་ སྔོ་ཤིང་དང་ རྨེན་བུ་ཚུ་ བཏོན་བཏང་ནི།
(༣) ལེ་ཟར་ རྟག་བརྟན་གྱི་གཟུགས་ཀྱི་སྐྲ་ ལྷག་ལུས་བཏོན་ནི།
༡ ལེ་ཟར་གྱིས་གདོང་གི་རྨ་འདི་བཏོན་གཏངམ་ཨིན།
༡༽ གཤག་བཅོས་ལེགས་ཤོམ་འབད་ནིའི་དོན་ལུ་ མཆིནམ་གྱི་ཚབ་ལུ་ ལེ་ཟར་གྱི་གྲི་བཀོད། ཁྲག་མེད་པའི་གཤག་བཅོས་འབད།